英国Hiden公司的ExQ定量气体分析质谱仪是为在常压附近连续分析气体/蒸气而设计。多样化的进样口配件可进行从低压1mbar到高压30bar的取样分析。Hiden标准配置的QIC惰性石英进样毛细管可加热至200℃，取样压力范围 100mbar至2bar。进样毛细管长度2米韧性良好，对于一般的气体/蒸气（包括水、有机蒸气）响应速度少于300 ms。由于样品接触面仅限于石英和金属铂，保持了**的样品完整性。EXQ系统质量数范围是200amu(300amu可选)，并具有从100%到小于100ppb的检测能力。EXQ配有两款专业的质谱仪。

*操作软件

1.QGA专业版定量气体分析软件提供了多达32种气体定量分析的简化用户界面。气体/蒸气谱分析计算并自动扣除重叠谱，谱图模拟器动态快速显示用户控制的变化，主要、次要气体组成的校准和本底校正。

2.MASsoft7专业版操作软件：是一个全面的质谱操作控制和数据采集的**化程序。

*标准特征

1.定量数据输出：ppm，ppb；

2.气体浓度变化时响应时间<300毫秒；

3.快速扫描500amu/秒的瞬态分析；

4.自动扣除重叠峰；

5.具有软离子化技术；

6.提供两组外部参数显示信号；

7.离子源寿命长、防污染；

8.可选配与 TGA、GPC、IR 的接口；

9.气体/蒸气质谱数据库具有对碎片峰智能扫描并精确记录的功能；

*MASsoft 操作软件

1.可以实时记录、显示实验过程和实验参数；

2.定量数据分析：1)自动将测量浓度与参考气体进行对比、评估 2)所有数据总和与100%水平对比。计算包括相对灵敏度和气体的校正参数。3)矩阵倒置算法：质谱数据反褶积进行精确地浓度分析；

3.具有动态数据交换能力DDE，将数据输出到其他格式，如EXCEL；

4.软离子化技术：改变离子化电压，选择性分辨复杂气体和蒸气中成份；

5.离子源控制：1)电子能量扫描：0～150ev 2)离子源离子能量扫描：0～10ev 3)发射电流扫描：20μA～2mA；

6.与计算机连接方式：RS232，或 Ethernet LAN(以太网接口)USB；

*技术规格

1.质量数范围： 1～200amu(标准配置); 1-300amu 可选气体取样管： a）2米长，内置石英玻璃毛细管，外部为不锈钢套，柔韧，弯曲方便 b）加热温度至 200℃ c）300毫秒内对于气体浓度的变化做出反映取样流量(气体消耗量)：1～20sccm，可调节取样压力：100mbar～2bar *小检测分压：

1×10^－11mbar 法拉第杯检测器 5×10－14mbar 电子倍增器

2.检测极限：0.1～1ppm 快速扫描速度：100amu/s *小扫描步阶：0.01amu 测量通道：200个，MID模式系统重量：63Kg

3.电源要求：110/220/240，50/60Hz <1.0 KVA