残余气体分析仪

四极杆质谱仪是用于在真空系统中评估残余气体成分的经典测量仪。

质谱仪为气体成分质量 - 电荷比供应的离子电流提供有关真空系统在多个操作阶段有用的信息，无论是用于确定安装后的气密性和无污染性还是在操作真空处理时用于其特性。

根据真空室和抽气系统的设计，在真空系统中获得的压力范围决定了质谱仪对检测器的选择。在高真空中，通常一个法拉第检测器就足够了，而在高真空中检测非常低的气体密度时，一个二级电子倍增器是必要的。另一个重要标准则是待检测的质量范围。

在传统的真空系统中，大气中的气体，例如氮气、氧气、氩气、水蒸汽等，通常受到轻烃污染是重点。为了检测这些气体，范围在 1 至 100 原子质量单位 (amu) 之间的四极杆质谱仪是理想的，因为在该范围内显示了良好的质量分离。若较重的气体及其组成成分也须检测出来，如长链烃，普发真空也为此提供了范围在 1?200 amu 或 1?300 amu 之间的质量过滤器。

开放的离子源在大多数残余气体分析任务中是**选择，因为它们将稳健的设计与较高的检测灵敏度相结合。凭借封闭或交叉束离子源，可有利地掌握必须分析气体喷流或气体流的任务。对于超高真空范围，也可提供具有极低释气率的栅网离子源。

由于有大量的部件可供选择，且得益于普发真空四极杆质谱仪的精确配置，质谱仪可作为所有测量任务的**选择。我们的产品和应用专家拥有多年的经验，将十分乐意为您提供有关残余气体分析仪配置方面的一些建议。

PrismaPlust四极质谱仪：

PrismaPlus^TM是新型定量定性气体分析和检漏的质谱仪。该四极质谱仪积累了丰富的应用经验，高灵敏度，高稳定性和智慧化操作的**结合是 PrismaPlusTM四极质谱仪新的优点。在适用中客户将感受到它坚固，紧凑的设计和简单的系统集成，并从中受益。

通过可选择质量数范围，检测器、离子源和介面介面等，该四极质谱仪可以应用于多个领域，例如：工业和分析领域、研发、检漏、半导体生产以及镀膜工艺等。PrismaPlusTM四极质谱仪是从品质保证，残气分析直至综合的定量分析工作等应用领域的**方案。

PrismaPlusTM四极质谱仪可 以在三个不同的质量数范围（1-100，1-200，1-300 amu）内，下至检测极限1*10-14 mbar 情况下给出精确的检测结果。在真空系统中，配合有效的法拉， 第和电子倍增检测仪，即使很低程度的污染也可以被快速地识别出来。除显示可选择的分压外，直接增加一个压力量规，PrismaPlusTM四极质谱仪就可以作为一个精确的全压监控器使用。

Quadera 软件不仅操作简单，它还提供了捕获和观察所有测试资料以及参数记录的易读平台。结合多种可供选择的介面介面，例如乙太网，数位式和类比式输入输出，可以方便地集成到各种系统中去。轻点滑鼠就可以启动预设的功能。

Hiquad700是一款高分辨率的四极质谱议

• 质量范围选择为 1-2048 amu

• 超过九个数量级的动态量程

• 极快的测量速度：0.125 ms/amu

• *小可检分压< 10E-16 mbar

• 极高的分辨能力，可以分析小分子气体同位素

• 分压比<0.3ppb

• 超过 10 个不同的离子源和离子光学组合

• 离散或连续倍增电极电子倍增器选件

• 用于正负离子以及中性粒子分析的离子计数前置放大器

• IO 选项：8 个模拟输入/输出和 32 个数字输入/输出

• 软件功能强大，灵活实用且具友好的用户界面