国产高分辨辉光放电质谱仪（型号：Sparkle型）是十四五科技部重大科学仪器设备开发专项的**成果，由西安交通大学主导研发，并依托我公司进行生产、销售及售后服务。该仪器采用慢速流辉光放电离子源，同时配备针状和片状样品架，可用于导体、半导体、绝缘体、粉末、涂层等材料分析。液氮冷却离子源的结构设计，轻松对低熔点金属（如金属镓Ga）进行分析。

产品特点：

1.     国产化高分辨质谱仪：国内首款高分辨辉光放电质谱仪，完全自主可控，关键零部件国产化率超过95%。

2.     固体样品快速分析：支持片状、针状、粉末等多种类型固体样品分析，便捷的样品装载结构，可在1分钟内实现样品的快速更换，一次扫描便可实现常量、微量、痕量、超痕量杂质元素的同时测量。

3.     高质量分辨率：采用自主设计的高分辨离子光学系统，**可达到10000的质量分辨率（10%峰谷），在中分辨率条件下，可实现平顶峰测量，在提高测量精密度的同时，采用跳峰法进一步提高分析效率。

4.     低运行成本：采用慢速流离子源，典型流量0.2sccm，反应气消耗成本几乎可以忽略。高纯钽的放电室易于清洁，很大限度减小了记忆效应，可以重复使用。

5.     便捷的操作软件：仪器配套的操作软件完全自主研发，操作简单、易于上手。支持Windows、Linux、国产操作系统。

技术指标

（1）质量范围：6~280 amu；

（2）质量稳定性：优于25 ppm/30min；

（3）质量分辨率：低分辨（LR）≥400，中分辨（MR）≥4000，高分辨（HR）≥10000，单次测量可自动进行分辨率切换；

（4）灵敏度：中分辨下，铜样品进样，Cu离子的总离子流峰高≥1E10cps；

（5）离子计数器性能：

    暗噪声：≤10 cpm；

    探测效率：＞90%

（6）动态范围: 不低于1E12；

（7）仪器检出限：ppb级别；

（8）丰度灵敏度：中分辨下，铜样品进样，测量质量数62相对质量数63丰度灵敏度<20ppb；

（9）内部重复性：主量成份< 3%RSD，次量成份< 5%RSD，痕量成份<10%RSD；

（10）外部重复性：主量成份<5%RSD，次量成份<10%RSD，痕量成份<20%RSD。