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SEMNova-1000高通量(场发射)扫描电子显微镜
面议
伯锐锶
SEMNova-1000高通量(场发射)扫描电子显微镜
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SEMNova-1000高通量(场发射)扫描电子显微镜
SEMNova-1000高通量(场发射)扫描电子显微镜,专为跨尺度大规模样品SEM表征分析而设计,广泛应用于科研及工业等领域。其自动化超高速的纳米成像技术,为您提供超凡的成像体验。
产品介绍
伯锐锶独立研发并拥有自主知识产权的SEMNova-1000高通量(场发射)扫描电子显微镜,通过对成像技术、运动平台、电路控制及智能算法的系统化创新设计,实现了高通量成像,成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。其全部采用直接电子探测器的技术方案,成功克服了传统SEM技术在速度、精度和样品损伤等方面的局限性,颠覆性地将扫描电镜从传统意义上的纳米“照相机”提升为纳米“摄像机”。同时操作简单,全自动一键换样,7*24小时无人值守运行,全面提升科研效率。
我们将成熟的工业化高通量电镜检测技术应用在生命科学、材料研究、半导体工业、地质资源等领域。尤其在神经生物学3D重构、材料大面积表征分析、半导体反向工程、纳米技术分析等应用领域有显著优势。
产品优势
● 综合成像速度>10倍传统电镜
● 二次电子与背散射电子双通道同步成像
● 海量SEM图像快速生成数据分析报告
● 从百毫米到纳米级的跨尺度材料表征
产品特点
1、极速成像
● 通过自主研发的硬件和软件设计,实现二次电子与背散射电子双通道同步成像:视频级高分辨成像;
● 高清视频级摄像帧率,使其具有实时观测样品动态变化的能力;
2、高成像质量
● 独特的浸没式电磁复合物镜系统,有效地减小低落点能量下物镜的象差,达到极高分辨能力;
● 与物镜场复合的静电式扫描偏转系统,相比于传统电镜的磁偏转系统,极大地减小图像边沿畸变,可获得兼具高分辨率和大视野的**图像;
● In-Lens SE与BSE半导体直接电子探测器,双通道同时高速成像,兼具高灵敏度和高信号电子收集效率,即使在nA级别的大束流条件仍可获得高图像衬度和信噪比;
● 配备主动补偿系统(激光干涉振动补偿、电磁干扰主动补偿),消除环境因素干扰,保证成像高分辨率高质量;
3、跨尺度大规模成像
● 超高速扫描成像能力,结合全自动聚焦跟踪系统和A.I.图像处理算法,实现对超大区域样品进行高分辨率全自动不间断矩阵式扫描,并自动拼接获得大尺寸纳米级分辨率的全景地图式成像,使之具备了跨尺度信息融合能力,可实现从纳米级到毫米级的跨尺度材料表征;
4、智能分析
● 大数据智能分析 ,海量SEM图像快速生成数据分析报告;
● 智能图像处理,定制化图像测量、统计、分析;
5、操作简单
● 全自动样品载入与导航,一键完成样品更换,操作便捷,节省工时。大场光学成像导航与SEM成像无缝衔接,对指定区域快速准确实现定位和观测;
● 7*24小时全自动化无人值守运行能力;
| 电子光学镜 | 电子枪 | 肖特基型热场发射电子源 束流稳定度<1%/天 |
| 物镜系统 | SORRIL™ 电磁复合透镜 样品台减速模式 | |
| 分辨率 | 1.5 nm @ 1kv 1.3nm @ 3 kv 浸没式电磁透镜(*①) | |
| 加速电压 | 0.1-12 kV 连续可调(*②) | |
| 放大倍数 | 500X~600,000X(SEM 图像)1X-600X(光学导航) | |
| 束斑电流 | 50pA~30nA (*③) | |
| 标准工作距离 | 1.5mm | |
| **视场 | 100um(标准工作距离)1mm(**工作距离 | |
| 电子束消隐器 | 静电式消隐器 | |
| 探测器系统 | 电子探测器 (标准) | In-column SE 探测器In-lens BSE 探测器 |
工作距离高度探测 | Focus Tracking™ 自动聚焦跟踪系统 | |
光学导航精度 | 15um | |
| 图像处理器 | 成像*小驻留时间 | 10ns/像素 |
*快成像通量 | SE与BSE各 100M 像素/s | |
采集方式 | 双通道同步采集 SE+BSE | |
**图像分辨率 | 24kx24k 像素 | |
图像平均 | 支持点平均、线平均、面平均 | |
| 样品运动平台 | 行程 | X=150mm,Y=150mm,Z=20mm **样品载重 5kg |
| 重复定位精度(*) | X=±3um,Y=±3um,Z=±50nm (*④) | |
驱动方式 | X/Y 压电陶瓷驱动Z 步进电机+压电陶瓷驱动 | |
| 标准样品托盘 | 4~6 英寸样品载盘预抽室自动送样 可选装载 SEM 标准样品托的载盘 | |
图像增强 功能软件 | 基础控制软件 | Nanoscope:自主研发用户友好的操作软件,用于电镜图像采集和测量具备一键图像聚焦和优化调整,可实时监控图像质量。 |
自动采集拼接软件 | ArrayScan:基于 Nanoscope 实现大面积全自动图像陈列采集,进行图片地图集自动预拼接等相关工作 | |
分析处理软件 | ImageViewer:自主研发基于 Windows 操作系统,单张超高清图像(24kX24k)快速浏览与测量,大体量超高清图像(1000X1000张)地图集式自动拼接/浏览,信噪比优化 | |
用户开发接口 | 支持 C#和 Qt版本:开放供用户调取使用接口功能。 | |
注:
①:选配非浸没式电磁透镜,可观测铁磁性材料;*2):选配0~30kV电子枪;
③:选配100nA;
④:可选配激光干涉仪。
场发射扫描电镜 SEM5000
ZEM系列台式扫描电镜-原位拉伸一体机
Quattro-
Pharos-STEM
Hitachi FlexSEM 1000
EM-30+
Veritas
KYKY-EM8000
Transcend II
略
美国Fauske 快速扫描绝热量热仪-ARSST
材料研究的 Axio Imager 2