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SEMNova-1000高通量(场发射)扫描电子显微镜

SEMNova-1000高通量(场发射)扫描电子显微镜

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宁波伯锐锶电子束科技有限公司

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品牌:

伯锐锶

型号:

SEMNova-1000高通量(场发射)扫描电子显微镜

关注度:

9

产品介绍

SEMNova-1000高通量(场发射)扫描电子显微镜

SEMNova-1000高通量(场发射)扫描电子显微镜,专为跨尺度大规模样品SEM表征分析而设计,广泛应用于科研及工业等领域。其自动化超高速的纳米成像技术,为您提供超凡的成像体验。

产品介绍

伯锐锶独立研发并拥有自主知识产权的SEMNova-1000高通量(场发射)扫描电子显微镜,通过对成像技术、运动平台、电路控制及智能算法的系统化创新设计,实现了高通量成像,成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。其全部采用直接电子探测器的技术方案,成功克服了传统SEM技术在速度、精度和样品损伤等方面的局限性,颠覆性地将扫描电镜从传统意义上的纳米“照相机”提升为纳米“摄像机”。同时操作简单,全自动一键换样,7*24小时无人值守运行,全面提升科研效率。

我们将成熟的工业化高通量电镜检测技术应用在生命科学、材料研究、半导体工业、地质资源等领域。尤其在神经生物学3D重构、材料大面积表征分析、半导体反向工程、纳米技术分析等应用领域有显著优势。

产品优势

● 综合成像速度>10倍传统电镜

● 二次电子与背散射电子双通道同步成像

● 海量SEM图像快速生成数据分析报告

● 从百毫米到纳米级的跨尺度材料表征

产品特点

1、极速成像

● 通过自主研发的硬件和软件设计,实现二次电子与背散射电子双通道同步成像:视频级高分辨成像;

● 高清视频级摄像帧率,使其具有实时观测样品动态变化的能力;

2、高成像质量

● 独特的浸没式电磁复合物镜系统,有效地减小低落点能量下物镜的象差,达到极高分辨能力;

● 与物镜场复合的静电式扫描偏转系统,相比于传统电镜的磁偏转系统,极大地减小图像边沿畸变,可获得兼具高分辨率和大视野的**图像;

● In-Lens SE与BSE半导体直接电子探测器,双通道同时高速成像,兼具高灵敏度和高信号电子收集效率,即使在nA级别的大束流条件仍可获得高图像衬度和信噪比;

● 配备主动补偿系统(激光干涉振动补偿、电磁干扰主动补偿),消除环境因素干扰,保证成像高分辨率高质量;

3、跨尺度大规模成像

● 超高速扫描成像能力,结合全自动聚焦跟踪系统和A.I.图像处理算法,实现对超大区域样品进行高分辨率全自动不间断矩阵式扫描,并自动拼接获得大尺寸纳米级分辨率的全景地图式成像,使之具备了跨尺度信息融合能力,可实现从纳米级到毫米级的跨尺度材料表征;

4、智能分析

● 大数据智能分析 ,海量SEM图像快速生成数据分析报告;

● 智能图像处理,定制化图像测量、统计、分析;

5、操作简单

● 全自动样品载入与导航,一键完成样品更换,操作便捷,节省工时。大场光学成像导航与SEM成像无缝衔接,对指定区域快速准确实现定位和观测;

● 7*24小时全自动化无人值守运行能力;

电子光学镜电子枪

肖特基型热场发射电子源

束流稳定度<1%/天

物镜系统

SORRIL™ 电磁复合透镜

样品台减速模式

分辨率

1.5 nm @ 1kv 1.3nm @ 3 kv

浸没式电磁透镜(*①)

加速电压

0.1-12 kV

连续可调(*②)

放大倍数

500X~600,000X(SEM 图像)1X-600X(光学导航)

束斑电流

50pA~30nA

(*③)

标准工作距离

1.5mm

**视场

100um(标准工作距离)1mm(**工作距离

电子束消隐器

静电式消隐器


探测器系统

电子探测器

(标准)

In-column SE 探测器In-lens BSE 探测器

工作距离高度探测

Focus Tracking™ 自动聚焦跟踪系统

光学导航精度

15um

图像处理器

成像*小驻留时间

10ns/像素

*快成像通量

SE与BSE各 100M 像素/s

采集方式

双通道同步采集 SE+BSE

**图像分辨率

24kx24k 像素

图像平均

支持点平均、线平均、面平均

样品运动平台行程

X=150mm,Y=150mm,Z=20mm

**样品载重 5kg

重复定位精度(*)

X=±3um,Y=±3um,Z=±50nm

(*④)

驱动方式

X/Y 压电陶瓷驱动Z 步进电机+压电陶瓷驱动
标准样品托盘

4~6 英寸样品载盘预抽室自动送样

可选装载 SEM 标准样品托的载盘


图像增强

功能软件

基础控制软件

Nanoscope:自主研发用户友好的操作软件,用于电镜图像采集和测量具备一键图像聚焦和优化调整,可实时监控图像质量。

自动采集拼接软件

ArrayScan:基于 Nanoscope 实现大面积全自动图像陈列采集,进行图片地图集自动预拼接等相关工作

分析处理软件

ImageViewer:自主研发基于 Windows 操作系统,单张超高清图像(24kX24k)快速浏览与测量,大体量超高清图像(1000X1000张)地图集式自动拼接/浏览,信噪比优化

用户开发接口

支持 C#和 Qt版本:开放供用户调取使用接口功能。

 

注:

①:选配非浸没式电磁透镜,可观测铁磁性材料;*2):选配0~30kV电子枪;

③:选配100nA;

④:可选配激光干涉仪。


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