浓度分析仪-InVue® GV148 液体浓度监测器-上海奥法美嘉生物科技有限公司-产品详情

InVue® GV148 液体浓度监测器

InVue GV148

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上海奥法美嘉生物科技有限公司

美国

产品规格型号

参考报价：

1-5万元

品牌：

Entegris

型号：

InVue GV148

关注度：

3992

产品介绍

InVueGV148 液体浓度监测器

集成一体的实时过程监控系统

InVueGV148液体浓度监控器可以实时提供测量过程流体的浓度，用于化学混合、提升浓度和稀释，无需中断过程检测。

InVue®GV148液体浓度监控器集成在一个小型密封外壳中，可提供性价比高的浓度监测，使前端（FEOL）、后端（BEOL）和工厂生产系统的工艺效率提高。这种工艺可以使过程控制更为严格，从而提高工艺效率，减少成本投入，也减少废料的产生。

用户软件强大

采用基于Windows®的HMI软件应用程序来支持 GV148配置和实时监控。该软件允许用户:

·获得实时折射率、流体温度和浓度信息

·自定义折射率以及浓度切换

·获取和分析化学品特定温度补偿的数据

·传感器平衡操作

·查看当前警告信息、系统事件和警告历史信息

·折射率归零

·配置模拟输出

经过验证的折射率检测技术

GV148监测仪采用经过验证的折射率检测技术，外观小巧，可提供准确、安全和可重复的液体浓度测量方法。在线传感器可精确测量过程流体的折射率（IoR）和温度。然后，我们将利用这些信息来计算工艺中液体的浓度。

工作原理

使用折射率技术，当光从平面玻璃或液体表面反射到光电二极管检测器（PDA）时，InVue®GV148 浓度监测器开始工作。反射角是由液体与窗口之间的折射率比决定的。定制的算法可以检测反射光强度的微小变化。这种可以反射几何形状的能力和小型化设计是InVue®GV148的重大特点。

应用领域

·H2 O2 溶液混合

·研磨液稀释

·专有添加剂混合

·全球和本地循环监控

·批量溶液混合监控

·容器寿命检测

·CMP后清洁溶液混合

功能与优势

基于折射率的测量	为过程控制提供实时浓度和温度验证快速响应时间，用于即时偏差检测测量各种介质中的浓度，包括非导电流体非直接接触式，保持化学物质纯度和洁净度符合在线工艺效率要求
含氟聚合物和蓝宝石的超纯润湿表面	保持化学物质的纯度和洁净
小巧型电子产品	*小化整体工具体积轻松集成到新的和现有的工具空间
HMI软件	实时数据记录和分析工具允许为定制专有化学品浓度监测用于密切监控系统事件，参数变化和警报历史，包括详细的事件日志
多种通信选项	RS485、RS422、4-20mA 灵活满足各种控制系统
全密封传感器	在恶劣的环境中依旧提供准确性、可重复性和可靠性
背景光扣除算法	在背景光存在的情况下依旧保持高准确性
传感器无耗材	只需要*少的硬件和预防性维护
镜面清洁端口	便于手动清洁蓝宝石镜面
LED状态灯	提供监视器频次、通信和错误的指示
可选的N2/DI自动* 原位镜面清洁器	**限度地减少维护停机时间，特别是在研磨液和亲水性化学品中

*配备适当的阀门和控制器

功能与优势

传感器结构材料	流动池主体	聚四氟乙烯（PTFE）*
	光学镜面	单晶蓝宝石*
	电缆护套	聚氯乙烯（PVC）
	阀盖、外壳	聚偏氟乙烯（PVDF）
	安装板	聚丙烯（PP）
电器设备	电缆连接	19 pin Turck® male
	额定电流	启动时1.0A ; 操作期间0.5A
	主电压输入	24 VDC
	IO电压输入	12 ‒ 24 VDC
	短路保护	是
	外部LED	4
	模拟输出	4 ‒ 20 mA 浓度、流体温度、折射率（RI）
	离散数字输入	2
	离散数字输出	** 2.80 mAdc (各个部件)
	复位	数字输入、串行命令或HMI软件
串行通信	**压力	80psi 40℃(104°F)
	工艺流体温度范围	20°C to 40°C(68°to104°F)
	环境温度范围	20°C to 35℃(68°to95°F)
	储存温度范围	-15°C to 40°C(5°to 104°F)
折射率检测	折射率检测范围**	1.32-1.40 nD
	准确性	±2×10-4nD(@20℃[68°F]from 1.332987-1.4000 nD)
	重复性	5×10-5nD(@20°C [68°F]透明液体中)
	精度	3×10-6nD(@20°C[68°F]纯水中)
	响应时间	<3sec 对63%稳态变化的非平均响应时间
	趋势变化	<5×10-5nD/30days(@20℃[68°F])
	压力敏感度（典型）	8×103 nD/psig(@20°C[68°F]纯水中)
符合ROHS标准	符合
附件	IP54
培训	一次

*亲水性的组件

**对于折射率超出此范围的流体，请联系奥法美嘉

配置

入口/出口连接端口	尺寸
	A	B	C
1/4"Flaretek管配件	114.6mm(4.51")	33.0mm(1.30")	111.0mm(4.37")
3/8Flaretek管配件	117.7mm(4.64")	34.7mm(1,.37")	113.5mm(4.47")
1/2"Flaretek管配件	120.9mm(4.76")	36.3mm(1.43")	119.6mm(4.71")
3/4"Faretek管配件	126.6mm(4,99")	38.9mm(1.53")	132.6mm(5.22")
1"Faretek管配件	126.6mm(4,99")	38.9mm(1.53")	154.9mm(6.10")
1/2"Primelock管配件	120.9mm(4.76")	36.3mm(1.43")	122.9mm(4.84")
1"Primelock管配件	126.6mm(4,99")	38.9mm(1.53")	149.6mm(5.891)
1/4"支柱管接头	114.6mm(4.51")	33.0mm(1.30")	100.5mm(3.96")
3/8"支柱管接头	117.7mm(4.64")	34.7mm(I.37")	112.5mm(4.43")
3/4"支柱管接头	126.6mm(4.99)	38.9mm(1.53")	134.5mm(5.29")

订购须知

InVue GV148液体浓度监测器：配件号

配件编号	描述
GV1CBLH04	19针螺旋接头，带4.0米（13.12英寸）聚氯乙烯护套电缆
GV1USBCVT	USB转4线串行转换器

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