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东海耀碳素(大连)有限公司
辽宁
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东海耀碳素
82
东海采用CVD法生产的Solid SiC产品被广泛应用于离子刻蚀等半导体设备中,我们的产品有以下几大优势:
1、无热变形
2、无气体释放
3、良好的化学稳定性
4、相比硅材料寿命长
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GC0.5
MG-C010
409-21-2
240#
JIS#12-#12000
W63-W1
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α阿尔法相碳化硅