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GaN外延设备石墨部件

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苏州铠欣半导体科技有限公司

江苏

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

苏州铠欣

型号:

GaN外延设备石墨部件

关注度:

480

产品介绍

产品特点

涂层厚度均匀,极差<10um

金属杂质含量<2ppm

涂层致密,无针孔,耐刻蚀,寿命长

>行星盘一致性好,均温性好,盘间温差<2C

应用领域

>GaN功率器件


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