石墨盘在外延设备中起着至关重要的作用。n硅晶片在成为半导体成品前，需要经过许多步骤，其中一个关键的工艺流程即是硅外延。n润石新材料生产的半导体外延片生长的CVD石墨盘采用日本TOYO,TOKAI,以及德国SGL进口石墨，可以达到≤5PPM的纯度，具有更好的稳定性、更长的使用寿命。建议使用材料：SGL6510、SGL6650、HK-2、HK-5