多层热沉是指以无氧铜为表层材料，钼或钼铜为中间层的三明治结构的复合材料，兼有铜的高热导率和钼的低热膨胀系数，且热膨胀系数可调。CPC(Cu-MoCu-Cu):热沉中间层为MoCu，可做多层，一般为3层，Cu含量更多，热导率更高。CMC(Cu-Mo-Cu):热沉中间层为Mo，热膨胀系数低目稳定。