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龙门双驱三轴精密运动平台
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合肥安迅精密技术有限公司
安徽
面议
合肥安迅
289
技术指标
数据
有效行程
X轴:300mm Y轴:300mm
**速度
X轴:1000mm/s Y轴:1000mm/s
**加速度
X轴:0.6G Y轴:0.6G
重复定位精度
X轴:±0.5μm Y轴:±1μm θ轴:±2arcsec
直线度
X轴:±4μm Y轴:±4μm
行走平面度
X轴:±5μm Y轴:±4μm
XY正交度
±5μm
**负载
10kg
光栅尺分辨率
0.1μm
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