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2英寸氧化镓衬底片
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杭州富加镓业科技有限公司
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富加镓业
2英寸氧化镓衬底片
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晶圆产品参数
电学参数
UID：1×1016~5×1017 cm-3；Sn：≥1×1018 cm-3；Fe：绝缘≥1×1010 Ω·cm
晶面：(100)
电学参数
UID：1×1016~5×1017 cm-3；Sn：≥1×1018 cm-3；Fe：绝缘≥1×1010 Ω·cm
晶面：(100)
双晶摇摆半高宽：≤150”
位错密度：<1×105 cm-2
目前参考尺寸：2 inch
参考边：[010]方向
加工指标
晶面偏差：<±1°；直径：50.8 mm±0.3 mm；厚 度： 0.65 mm ± 0.05mm；单面抛光，Ra<0.5 nm
产品外形示意图
电学参数
UID：1×1016~5×1017 cm-3；Sn：≥1×1018 cm-3；Fe：绝缘≥1×1010 Ω·cm
晶面：(100)
双晶摇摆半高宽：≤150”
位错密度：<1×105 cm-2
目前参考尺寸：2 inch
参考边：[010]方向
加工指标
晶面偏差：<±1°；直径：50.8 mm±0.3 mm；厚 度： 0.65 mm ± 0.05mm；单面抛光，Ra<0.5 nm
