EB/PVD – 保护（MCrAlY）和热障涂层的电子束/物理气相沉积(TBC)

市场对于航空航天和发电工业中使用的燃气涡轮发动机效率提出了越来越严格的要求。这是由减少化石燃料消耗和运营成本的要求所驱动的。提高涡轮效率的主要手段是提高发动机涡轮热段的运行温度。所使用的材料必须经受更高的温度以及机械应力、腐蚀、侵蚀和其它严苛的操作条件，同时提供*终用户所要求的延长寿命。在这个领域中，涂层工艺现已作出了重大贡献。

                                         真空涡轮叶片涂层EB/PVD生产系统，SL XXL型

ALD的量产EB/PVD系统配备有一个中央涂层室，其中包含两个电子束枪和一个氧化锆陶瓷储层，这将允许执行数天的涂层工艺操作。EB将产生均匀的蒸气云，其中部分可以旋转、倾斜或两者同时进行，以匹配部分几何形状和指定的涂层厚度分布要求。

两层涂层系统，例如CMAS保护和低k应用，可以通过集成的铸锭平移机（ITM）来实现，这允许在一次涂层运行中沉积两种不同的材料。

高性能电子束蒸发金属和陶瓷。键合、扩散和热障涂层可以在具有高沉积速度的分步工艺n中产生。

EB/PVD工艺将产生具有受控厚度分布的热障涂层，具有优异的树枝状结构、牢固的锚根和光滑的表面性能。TBC涂层将吸收高的热应力并提高涡轮工作温度，从而实现了降低燃料消耗、提高效率和延长涡轮寿命的预期效益。

基本设计（SL XXL）包括涂层室、加热室和加载/卸载室。

模块化设计允许进一步扩展：例如：可以改装到2个进料器的涂装机（DL XXL）。

ALD提供40年的经验和几十个参考的涂层系统叶片和导向叶片。

4个进料器的涂装机（DTL XXL）能够连续批量生产涡轮部件，具有较高的产量和效率。