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光电薄膜绕卷镀膜机
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福宜真空
光电薄膜绕卷镀膜机
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真空镀膜技术是软性电子量产化中不可或缺的一环。近年来许多知名研究机构与企业争相投入研究开发,以期成为真空镀膜领域之佼佼者。传统电子产业中普遍使用「硅」及「玻璃」为主要生产基材,随着技术应用的演变,「硅、玻璃」已无法满足柔软且可调整的产品应用特性。
因应电子技术的演进,汇成创新研发出光电薄膜绕卷镀膜机,绕卷式镀膜及多层镀膜,并可应用于电子纸、ITO薄膜、软性电路板,太阳能薄膜电池、医疗试片、RFID天线及水氧阻隔膜等各项产品,相信我们的设备可为镀膜产业带来**的生产效率及可靠的稳定性。
光电薄膜绕卷镀膜机特点:
(1) 允许多个镀膜源(金属、合金、介电材料)同时镀膜,且无需破真空。
(2) 分离式腔体可进行不同压力之各式蒸镀、溅镀、电子枪或CVD等镀膜方式。
(3) 使用交流伺服马达增加制程稳定性。
(4) 双向绕卷设计,多层镀膜制程亦无须破真空。
(5) 光学或电阻式在线实时膜厚监控系统,可确保镀膜均匀性。
光电薄膜绕卷镀膜机配置:
• 实现真正无镀空线、无白条、无铝渣、无褶皱。
• 独特的抽真空系统,开停机无需预热、冷却,更加节能高效。
• 全新设计特殊蒸发舟(交错、顶夹)排列,蒸发率高,均匀性好。
• 先进的铝层光密度在线检测,均匀度可控直观(特殊产品均匀度可达±1%)。
• 卷绕系统采用西门子交流伺服电机控制。
• 拥有4根可调角度、拱度展平辊。
• 过程控制系统(西门子运动控制器),并具有自动开停机程序。
• 根据卷材卷径可自动实现距离收卷的摆架系统。
• 高均匀性热蒸发系统:电阻加热式蒸发舟,步进电机单独送铝丝。
• 设备有频闪蒸发源视窗,蒸发源自动控制挡板。
• 实时远程在线设备维护,使设备维护效率更高。
• 自带诊断系统。
• 深冷阱捕集系统。
发源、送丝系统: