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全自动深度腐蚀机

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联盛半导体科技(无锡)有限公司

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全自动深度腐蚀机

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138

产品介绍

1、机台采用进口劳士领板材,长期可工作在酸腐蚀环境,坚固耐用,双层防漏 。
2、全自动设计,可完全腐蚀透硅片,取代划片机划片造成边沿毛刺和损伤。
3、酸液制冷循环,材料在工艺槽内旋转摆动,腐蚀均匀。
4、酸槽到水槽到出料全自动机械手臂操作。
5、控制部分采用进口品牌PLC 和HMI,所有可能与酸雾接触的电气及线路均经PFA防腐隔绝处理,电气柜CDA/N2充气保护其中的电器控制元件;
6、机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE氮气枪各1只置于右侧。
7、设备设计标准按半导体行业标准(SEMI-S2-93)执行,ISO9001质量管理体系进行规范和保证。 

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