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垂直氧化炉—8寸

垂直氧化炉—8寸

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青岛华旗科技有限公司

山东

产品规格型号

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面议

品牌：

华旗科技

型号：

垂直氧化炉—8寸

关注度：

668

产品介绍

垂直氧化系统用于IC集成电路、MEMS、电力电子器件、光电子器件等领域，6"、8"晶圆的氧化、合金、退火等工艺。

产品性能：

*垂直结构，高效产能，150片/批

*稳定优良的成膜均匀性，重复性好

*微环境低氧控制先进技术

*硅片颗粒度控制稳定，国际标准

*全自动流程，盒对盒，AGV对接

配套工艺：

*氧化：干氧/湿氧（DCE, HCL）

*氮、氢退火，烧结、合金，固化等

*快速热退火

获取更多信息，请访青岛华旗科技有限公司网站

产品咨询

垂直氧化炉—8寸

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