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1400℃三温区真空气氛管式电炉
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FGLFGL（RTP）系列滑轨式管式炉（T max 1100℃）
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组合式多通道管式炉 BTF-1200C-9D
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YGDL-1206多工位开启式管式炉
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1200高真空PECVD系统
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1700℃双温区管式炉
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2405
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