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小型PECVD管式炉系统

OTF-1200X-50S-PE

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品牌：

科晶

型号：

OTF-1200X-50S-PE

关注度：

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产品介绍

小型PECVD管式炉系统

型号：
OTF-1200X-50S-PE
产品概述：
OTF-1200X-50S-PE是一款小型等离子体气相沉积管式炉系统（PECVD）。该设备配有等离子射频电源，开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）及一个直联式双旋机械泵。此套设备模型可组合为不同类型的PECVD系统，且设备性价较为理想。

设备名称	小型PECVD管式炉系统——OTF-1200X-50S-PE （2019.12.23—科晶实验室审核）
产品提示	1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示
产品特点	▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度； ▪ 整套设备尺寸小巧； ▪ 可通过工艺调节来控制化学计量； ▪ 可通过射频电源的频率来进行控制薄膜的应力。
加热炉参数	▪ 温度：1100℃（<30min）；连续工作温度：1000℃； ▪ PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃； ▪ 输入电源：208- 240V AC，功率：1.2KW； ▪ 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命。更多参数请联系科晶销售部**
射频电源	▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。 300W射频电源500W射频电源100W射频电源输出功率0-300W可调（稳定性：±1%）0-500W可调（稳定性：±1%）0-100W可调（稳定性：±1%）射频频率13.56 MHz（稳定性：±0.5%）13.56 MHz（稳定性：±0.5%）13.56 MHz（稳定性：±0.5%）匹配自动匹配自动匹配手动匹配噪音＜50dB＜50dB＜50dB冷却方式风冷风冷风冷输入电压AC180-250VAC108-250VAC110-240V图片
真空系统	▪ 采用TRP-12的双旋真空泵； ▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵； ▪ 真空度可达10-2Torr。
供气系统	▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）； ▪ 流量范围: 一路0-100 sccm二路0-200 sccm三路0-200 sccm四路0-500 sccm ▪ 电压：208-240V， AC， 50/60Hz； ▪ 气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管； ▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出； ▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
产品尺寸和重量	▪ 尺寸：1500mm L´600mm W´1200mm H ▪ 净重：75 kg
认证	▪ CE认证 ▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证 ▪ 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
承诺	▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件）

获取更多信息，请访合肥科晶材料技术有限公司网站

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