使用温度

1200℃（1 hour)

工作温度

≤1100℃

炉膛有效尺寸

Φ40*800mm（炉管直径可根据实际需要定制）

炉膛材料

高纯氧化铝纤维

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

±1℃

控温方式

30段可编程控温，PID参数自整定

操作界面为10”工控电脑，内置PLC控制程序

加热长度

150mm

恒温长度

70mm

加热原件

电阻丝

供电电源

220V，50Hz

额定功率

2KW

三路质子流量控制系统

连接头类型

Φ6mm双卡套不锈钢接头

标准量程（N2)

100sccm，100sccm、200sccm；（可根据用户要求定制）

准确度

±1.5%

线性

±0.5～1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围

0.1～0.5 MPa

**压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

真空机组

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽气速率

10m³/h

极限真空

5X10^-1Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进排气口径

KF25

噪音

50dB

连接方式

采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连