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单晶炉石墨热场
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河北晶碳
单晶炉石墨热场
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在太阳能光伏行业,合格的单晶硅热场能够生长出高质量的单晶,因此创造良好的热场条件,在直拉单晶工艺上有非常重要的因素。石墨是单晶生长的载体,石墨在直拉单晶生长炉中以高纯石墨和等静压石墨加工件为主。
热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、(三瓣式)石墨坩埚、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,未来防止漏硅,炉底、金属电极、托杆都设置了保护板和保护套。
加热器
加热器是热场中很重要的部件,是直接发热体,温度**的时候可以达到1600度以上。常见的加热器有三种形状,筒状、杯状、螺旋状。就信瑞达石墨接触到的单晶硅加热器形状一般都是直筒状的。一般情况下,加热器采用的高纯石墨加工。
石墨电极
石墨电极的作用平稳固定加热器并通过他岁加热器输送电流。因此在电极要厚重,结实耐用、表面要光滑平稳,保证良好的接触面,通电时不打火,石墨电极也是有高纯石墨加工的。
坩埚托杆、坩埚和托盘共同构成了石墨坩埚的支撑体,要求和下轴结合牢固,对中性良好在下轴进行转动时,托杆及托盘的摆渡小于等于0.5mm石墨支撑体的高度是可以调节的。
HTRH,HTRV
略
驰顺TF-1200型旋转管式炉
开启式管式炉
RLY系列燃油热风炉
OTL1200、KTL1400、KTL1600、KTL1700
RLY 系列
不锈钢单温区高温真空气氛管式电炉
略
OTF-1200X-25-60
YCVD-1706