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硅碳负极材料专用CVD炉
硅碳负极材料专用CVD炉
适用于
硅碳负极材料的生产、实验
产品特点
●炉内密封性及佳,可通入氮气、乙炔、甲烷、丙酮等混合气体。
●组合进料方式,进料量精准控制。
●配置电子流量计、蠕动泵;炉内.温度、压力、流量自动控制。
●轻质炉膛,热效率高,能耗低,炉内温度均匀性好
●PLC全自动控制整套工艺过程,通过触摸屏操作简洁直观。
●运行平稳,宜维护,设备大小可根据需求非标定制。
KY-R-LQC系列连续式CVD炉技术参数
型号 | 加热功率 (KW)) | 加热区长度 (mm) | 煅烧周期 (h) | 处理能力 | 温区 | 外型尺寸(mm) | ||
长L | 宽W | 高H | ||||||
LQC160-2.2M | 20 | 1500 | 0.5-1.5 | 1-2L | 3 | 3550 | 1100 | 1800 |
LQC300-3.5M | 36 | 2180 | 1-4 | 2-5L | 3 | 5050 | 1100 | 1900 |
LQC400-6M | 90 | 4000 | 3-5 | 6Kg | 6 | 8500 | 1300 | 2700 |
LQC500-8M | 120 | 6000 | 3-6 | 10Kg | 6 | 10500 | 1500 | 3000 |
LQC600-9M | 160 | 6000 | 3-6 | 20 Kg | 6 | 11500 | 1800 | 3300 |
注:处理能力指进料量,可根据用户需求另行设计制造。
KY-R-JQC系列间歇式CVD炉技术参数
型号 | 加热功率 (KW)) | 炉管直径 (mm) | 加热区长度 (mm) | 处理能力 (L) | 温区数 | 外型尺寸(mm) | ||
长L | 宽W | 高H | ||||||
SJQC1 | 6 | 130 | 400 | 1 | 2 | 1500 | 800 | 1500 |
SJQC3 | 12 | 200 | 600 | 3 | 2 | 1800 | 900 | 1550 |
SJQC10 | 14 | 260 | 1000 | 10 | 3 | 2100 | 950 | 1700 |
SJQC20 | 21 | 360 | 1200 | 20 | 3 | 2450 | 1200 | 1950 |
JQC150 | 60 | 500 | 3000 | 150 | 4 | 4650 | 1300 | 2180 |
JQC500 | 160 | 600 | 6000 | 500 | 6 | 9500 | 2000 | 3300 |
注:可根据用户需求另行设计制造。
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