卧式化学气相沉积炉（沉积炭）技术特征

电阻炉可采用多温区独立控温，温度均匀性好；

采用智能压力调控，压力波动小；

全封闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

多通道工艺气路，流程均匀，无沉积死角，沉积效果好；

多级高效尾气处理系统，环境友好，能高效收集焦油及副产物，易清理；

可选配外循环快冷系统，降温时间短，生产效率高；

卧式化学气相沉积炉（沉积炭）产品规格

以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。