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小型氧化亚硅气相沉积真空炉

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深圳市美格真空科技有限公司

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面议

品牌：

美格

型号：

小型氧化亚硅气相沉积真空炉

关注度：

1486

产品介绍

1．产品名称：小型氧化亚硅气象沉积真空炉

2．应用领域：动力电池负极材料（氧化亚硅等可气相沉积材料）

3.工艺描述：三温区设计，合金内胆，温差控制精度3℃，高温高真空，具备脱水，混炼反应，提纯等工艺，反应充分，成品率高（约70%-80%）

型号	装料尺寸	装载量	工作温度	极限温度	真空度	总功率	气氛类别	工序时长
MGB15-85HH	Φ150 * 850	0.12M3	1350°C	1600℃	0.1* 0.5pa	35KW	Ar/N2	16H/炉

获取更多信息，请访深圳市美格真空科技有限公司网站

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小型氧化亚硅气相沉积真空炉

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