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Bhadra™立式高温退火炉HBA150
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拉普拉斯
Bhadra™立式高温退火炉HBA150
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Bhadra™立式高温退火炉HBA150
功能
1.激活掺入的杂质原子
2.刻蚀工艺后沟槽平滑
技术参数
适配晶圆尺寸:4,6寸
适用衬底材料:碳化硅
适用领域:功率半导体、衬底材料、科研
拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司,成立于2021年12月,公司以多名半导体研发、制造、零部件、设备等领域经验丰富的从业人员为核心,致力于成为**的半导体领域核心工艺解决方案商。目前公司核心产品以晶圆段立/卧式氧化,退火,LPCVD,以及生产陶瓷基板钎焊炉,烧结炉为主,应用领域集中在半导体芯片和陶瓷基板相关生产制造。
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