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超高温硼化物沉积炉

超高温硼化物沉积炉

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湖南顶立科技股份有限公司

湖南

产品规格型号
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面议

品牌:

金顶汇

型号:

超高温硼化物沉积炉

关注度:

1931

产品介绍

超高温硼化物沉积炉技术特征

采用先进的控制技术,能精密控制H2、C3H6的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动小;

全密闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

多通道工艺气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

多级高效尾气处理系统,能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物,环境友好;

可选配新设计的防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率低;

适于工艺气氛:真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2

超高温硼化物沉积炉产品规格

参数\型号HCVD-101015-ZrCHCVD-152023-ZrCVCVD-0608-ZrCVCVD-0812-ZrCVCVD-1120-ZrCVCVD-1218-ZrCVCVD-1520-ZrC
工作区尺寸 W×H×L(mm)1000×1000×15001500×2000×2300600×800800×12001100×20001200×18001500×2000
**温度(℃)2000200020002000200020002000
温度均匀性(℃)±10/±15±15/±20±5/±7.5±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.67
加热方式电阻电阻电阻电阻电阻电阻电阻

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。

超高温硼化物沉积炉配置选择

结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡

加热器、马弗材质:石墨/CFC

热电偶:C/S分度号

红外仪:单比色/双比色

真空泵:机械泵组/耐腐蚀泵组


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