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FT-340系列双电测电四探针方阻电阻率测试仪
应用说明:
覆盖膜;导电高分子膜,高、低温电热膜;隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层,电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料,其他半导体材料、薄膜材料方阻测试
硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件,导电薄膜(ITO导电膜玻璃等),金属膜,导电漆膜,蒸发铝膜,PCB铜箔膜,EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率导电性油漆,导电性糊状物,导电性塑料,导电性橡胶,导电性薄膜,金属薄膜, EMI 防护材料,导电性纤维,导电性陶瓷等,提供中文或英文两种语言操作界面选择,
二.描述:
采用四探针组合双电测量方法,液晶显示,自动测量,自动量程,自动系数补偿.高集成电路系统、恒流输出;选配:PC软件进行数据管理和处理.
双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换,进行两次电测量,对数据进行双电测分析,解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响
规格型号 | FT-341 | FT-342 | FT-343 | FT-345 | FT-346 | FT-347 |
1.方块电阻 | 10-5~2×105Ω/□ | 10-4~2×105Ω/□ | 10-3~2×105Ω/□ | 10-3~2×104Ω/□ | 10-2~2×105Ω/□ | 10-2~2×104Ω/□ |
2.电阻率 | 10-6~2×106Ω-cm | 10-5~2×106Ω-cm | 10-4~2×106Ω-cm | 10-4~2×105Ω-cm | 10-3~2×106Ω-cm | 10-3~2×106Ω-cm |
3.测试电流 | 0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA,10mA,100mA | 1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100mA | 0.1μA.μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA | 1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100mA | 0.1μA、1μA、10μA,100μA,1mA,10mA,100mA | 1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100mA |
4.电流精度 | ±0.1% | ±0.2% | ±0.2% | ±0.3% | ±0.3% | ±0.3% |
5.电阻精度 | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.5% | ≤0.5% | ≤0.5% |
6.显示读数 | 屏液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率 | |||||
7.测试方式 | 双电测量 | |||||
8.电源 | 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W | |||||
9.误差 | ≤3%(标准样片结果) | |||||
10.选购功能 | 选购1.pc软件; 选购2.方形探头; 选购3.直线形探头; 选购4.测试平台;5.标准电阻.1 | |||||
11.测试探头 | 探针间距选购:1mm;2mm;3mm三种规格; 探针材质选购:碳化钨针;白钢针;镀金磷铜半球形针 |