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六维超高精密手动位移台NFP-6561/6561L

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北京卓立汉光仪器有限公司

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产品介绍

■技术指标

◆Tx:13mm

◆Ty:13mm

◆Tz:6mm

◆θx:-10°~10°

◆θy:-2°~4°

◆θz:-4°~4°

◆灵敏度:1μm

◆X.Y.Z轴直线度:<3μm

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