Idonus基于高功率LED和高档微透镜阵列的基础上提出了一个 GE MING性的紫外光照系统。

这个产品应用于光刻胶曝光工艺，适用多种基材。光照质量保证了高的同质性的临界尺寸和整个面上的侧壁角。实际上，由于使用了一种完全远心的光学，我们的设计提供了**的稳定光照条件，即整个表面的高同质性的强度和低的发散角。

可以根据用户需求进行产品开发定制，可以极大缩短您的想法变成产品的时间。

LED BENEFITS优点

目前随着LED技术的发展，紫外LED表现出了比汞光源更大的优势。

● 长寿命LED，测试不需要耗材

● 不需要每天校准，即刻稳定光照

● 有限的发热，这降低了空气冷却费用

● 低功率消耗

● 光源仅仅在曝光时开启（不需要快门）

● 用户可以根据需求进行照射系统定制。

也可以按照用户旧机器的尺寸设计照射系统，以替代旧的机器上的汞灯照射系统。

TYPICAL PERFORMANCES 典型参数

分辨率 ：0.5 μm

光学功率 ：20 to 200 mW/cm2

曝光区域 ：50x50 to 300x300 mm2

光学辐照不均匀性 ： ±2%

ZUI大发散角(FWHM) ：±1.5°to 3°

波长 ：365 / 385 / 405 nm

光谱半宽幅 ：12 nm

设备尺寸 ： 65x30x30 cm3

总功率 ：20 to 1200 W