通过半浸没物镜进行高分辨率观察和分析

半浸没式（semi-in-lens）物镜在低加速电压下也能将电子束聚焦得很细；浸没式（in-lens）肖特基场发射电子枪寿命长，能获得稳定的电流，这两者的结合使高分辨率观察和高空间分辨率分析能够兼顾。

通过柔和光束，以能量极低的入射电子束观察样品的浅表面

通过给样品加以偏压并照射电子束，能够利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 （柔和光束），以能量为数百电子伏的入射电子束对样品的浅表面进行高分辨率观察，这是迄今为止未能实现的。

高性能电子光学系统能进行快速、高精度的分析

电子光学系统采用了High Power Optics（高性能电子光学系统）。不仅能进行高分辨率观察还可以进行稳定、快速、高精度的元素分析。