ESCALAB XI配备了微聚焦单色化X射线源，旨在提供**的XPS分析性能+X射线光电子能谱仪能满足大吞吐量样品测试需求多技术能力、一系列灵活的样品制备室及样品处理设备，使该仪器在解决任何表面分析问题时都能游刃有余。利用先进的 Avantage 数据采集和处理系统，从测试数据中挖掘尽可能多的信息。

The ESCALAB XI+ X-ray Photoelectron Spectrometer (XPS) Microprobe Features:

• 高灵敏度能谱

• 小面积 XPS

• 深度剖析能力

• 角分辨 XPS

• 标配离子散射能谱 (ISS)功能

• 标配反射电子能量损失谱 (REELS)功能

• 标配“样品预处理”室

• 多技术分析的多功能性

• 多个样品制备技术可选

• 全自动无人值守式分析

• 多样品分析

单色化X射线源

• 双晶体微聚焦单色器配备一个 500 mm 直径的罗兰圆，使用铝阳极靶

• 样品 X 射线光斑尺寸可选择范围为 200 至 900 μm

透镜、分析仪和检测器

• 透镜、分析仪和检测器构成XPS检测系统+XPS光谱仪在成像和微区方面的分析能力都是****的

• 两种类型的检测器可以确保为每种分析提供**检测——用于成像的二维检测器和适用于高计数率检测的电子倍增器

• 透镜配备了两个电脑控制的虹膜机构 - 一个允许用户将透镜的视野控制在<20μm以下进行微区分析，另一个控制透镜的接收角度，以便获得高质量角度分辨数据

• 180° 半球型能量分析器

深度剖析

• 数控式 EX06 离子枪是一款高性能的离子源，哪怕在使用低能离子源时也有着很好的性能

• 提供方位角样品旋转

• 多技术能力

• 可配备其他分析技术而不降低 XPS 检测性能

• 使用 EX06 离子枪时透镜组和能量分析仪的电源可反向（确保离子散射能谱 (ISS) 可用）

• 电子枪可加压升至 1000 V，为 REELS 提供优异的离子源

技术选项

• 非单色化 X 射线光源的XPS分析

• AES（俄歇电子能谱）

• UPS（紫外光电子能谱）

真空系统

• 5 mm 厚高导磁?金属分析室，**程度提高磁屏蔽效率

• 与使用内部或外部屏蔽的方法相比，屏蔽效能更佳

样品制备

• 系统标配一体化的快速进样室和制备室

• 额外的制备室可选

Avantage 数据系统

• 集成了测试分析的所有方面，包括仪器控制、数据采集、数据处理和报告生成

• 允许远程控制，并且可轻松与第三方软件交互（例如 Microsoft Word）

• 管理从样品载入到报告导出的整个分析过程