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German First-Nano System 德国韦氏纳米
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610
AS-One系统有两种型号： AS-One 100 系统或AS-One 150 系统
该快速退火炉是专门为满足大学、研究实验室和小规模生产的需求而研制的，高可靠且性价比高。
该工艺室采用贝壳式设计，可完全进入底板，方便装载和卸载基板，并允许实际清洁腔体
快速数字PID温度控制器在整个温度范围内提供精确和可重复的热控制。
| 特征： | |
| 基本尺寸： | Up to 直径100 mm (4-inch) for AS-One 100 Up to 直径150 mm (6-inch) for AS-One 150 Small substrates using susceptors |
| 工艺腔体 | 运用不锈钢冷腔室壁技术 |
| 温度范围 | 标准配置：**达到1250°C 高温配置：**达到1450°C |
| 温度控制 | 标准配置：热电偶和高温计用来测量温度 快速数字PID温度控制器在可获得精确的和可重复的热控制 |
| 真空和气体 | *多可达5路带MFC的工艺气体，一路清洁气体 |
| 电脑控制 | 全PC电脑控制，每个配方*多100步骤 全数据记录与处理历史的人机界面设计 |
| 选项： | |
石墨托盘/碳化硅涂层托盘/粗真空泵和涡轮泵/快速冷却系统/其他套件 | |
| 应用： | |
● 快速热退火
● 快速热氧化
● 扩散/接触时退火
● 化合物退火
● 结晶或致密化
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