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气体注入设备
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江苏卓远半导体有限公司
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气体注入设备
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卓远半导体运用先进工艺，以气体注入工艺技术为核心，研发出气休注入设备，需搭配我司 Intelligent MPCVD Diamond Growth System (IMD)系列金刚石晶体生长系统使用。
Intelligent Gas Injection System (IGI)系列气体注入系统，采用微波电浆化学气相沉积法(MPCVD)制备，主要用于金刚石长晶过程中的气体注入。
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