小型桌上型高频等离子表面处理装置

■ 操作性·功能

● 射频13.56Mhz 0-300W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性。

● 标准配备数字式皮拉尼传感器，实时显示真空度，使得控制更为精确。

● 平行平板腔体非常适合于实验室处理比较纯净的晶圆、硅片等样品，无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。

■ 安全性·保护

● 装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯，可实时监测和了解机器的运转状态。

● 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。

■ 产品优势

●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。

●对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求。

●等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。

●高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。

●特制电极和托盘结构，可保证样品可得到全面有效的清洗。

■ 规格