高频等离子表面处理装置

■ 操作性·功能

● 射频13.56Mhz 0-1000W高功率机型，DP和RIE标配的双模等离子清洗机，可对应更多复杂工艺.

● 标准配备电离式真空计，实时显示真空度，使得控制更为精确。

● 液晶触摸屏控制，操作使用简单，调取数据简单。

■ 安全性·保护

● 标准配备真空泄漏检测功能，可以根据需要检查设备的真空以及泄漏情况。

● 装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器，以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置。

● 发生器保护回路：超负荷或者RF发生器发生问题时，可自动调低频率来保护发生器。

● 门锁开关：门在未完全关闭时无法启动电源。

● 侧板锁：本体侧板突然打开或者未关好时，会停止电源。

● 紧急停止按键（EMO）标准配备。

● 当装置发生异常时，装置本体发出警告信号的同时，进行以下动作1）关闭主阀。（2）关闭供气阀。（3）停止输出振荡器。(4)停止处理时间。（5）声光报警

■ 产品优势

●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。

●DP&RIE双模处理，可对应更复杂的工艺。

●搭载高精度适配器，高性能RF电源。

●可变电极构造提高等离子处理效果。

●安全保护措施绵密，有效防止对机器以及样品的损害。

●可根据需求的具体情况提供产品定制服务。

■ 技术规格