PCE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术，采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵，清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，可短时间内彻底清洗掉有机污染物，清洗程度可达到分子级。另外，其样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。此外，其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

主要特点

1、采用气体作为清洗介质，避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。

2、可短时间内彻底清洗掉有机污染物。

3、清洗程度可达到分子级。

4、可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

5、清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。

6、样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。

7、广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

技术参数

1、电压：AC220V 10A

2、消耗功率：<500W（包括真空泵）

3、RF电源：输出功率100W，输出频率13.56MHz

4、腔体：Φ190mm×98mm

5、石英管：Φ180mm×55mm，壁厚7mm

6、内腔：Φ165mm×55mm

7、清洗电极：Φ120mm

8、样品台：Φ150mm，有效尺寸Φ140mm

9、样品台与电极间距：15mm-50mm可调

10、抽气管：Φ12mm

11、极限真空度：0.1Pa

12、工作真空度：60Pa-500Pa

13、气路数量：2路（选装）

14、流量控制器数量：1、2

15、流量显示仪：2通道

16、气路接口：Φ6mm

17、加热样品台：Φ140mm，加热样品温度RT-600℃±1℃（选装）

18、冷却水压力：0.2KPa-0.4KPa

19、工作环境：温度5℃-35℃，湿度<80%（相对湿度）不结露，海拔高度0-2000m

产品规格

尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵）

重量：20kg（不含真空泵）

可选配件

1、加热样品台

2、流量控制器（量程10、50、100，*多可增加2个通道）