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YAMATO雅马拓等离子清洗机YSP600U/2KU

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柜谷科技发展(上海)有限公司

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418

产品介绍

样品传输系统为模块式,便于组合

用途

● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理

● 清洗各类基板。

● 电子部品、材料表面改质。

● 去除有机物和自然氧化膜。

特点

● 体积小,节省空间。

● 选用小型腔体,反应效率高。

● 更容易嵌入生产线使用。

● 可通过操作面板自由切换等离子模式。

● 配备冷却反应台。

内槽

技术规格

型号

YSP600U

YSP2KU

模式

RIE(DP模式选购)

高频输功率

600W

2000W

反应台尺寸

W300×D300mm

W600×D600mm

反应气体

2进气系统(氧气、氩气)

反应气体流量控制

质量流量控制器

气体导入口

反应气体2个、填充气体1个、空气1个

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