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Cressington离子溅射仪

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溢鑫科创科技集团

英国

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产品介绍

英国Cressington高性能离子溅射仪系统是现阶段配套扫描电镜SEM,透射电镜TEM,电子探针**的配套前级样品处理系统以及均匀高导电率的电极薄膜制备,溢鑫科创Yi Xin Technology是Cressington在中国**官方授权代表,全权负责此产品在国内产品销售,售后服务,市场推广和授权等工作。

Cressington 108 SPUTTER COATER

Cressington 108/108Auto离子溅射仪是用于电镜样品前处理,制作电极的***高质量的镀膜仪系统

主要优势功能:

  • 自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和**的导电喷镀效果。

  • 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。

  • 操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

  • 在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果。

  • 可配备MTM-10高分辨膜厚监控仪(选件)(分辨率优于0.1nm,-99.9nm到+999.9nm)

  • 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和**的镀膜效果。

  • 可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd,Ag等,靶材更换快速方便。

技术规格:

样品仓尺寸: 120 x 120mm(高) (4.75 x 4.75"),高强度硼硅酸盐透明玻璃

样品台:直径63mm,可放置12个标准SEM样品座,高度可在 60mm内调节

溅镀优点:基于微处理器反馈控制,远程电流/电压感应;提供真空安全联锁装置,**180A,配有过流保护

溅射控制:微处理器控制,安全互锁,可调,**电流40mA,程序化数字控制

溅射头:低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩

模拟计量:真空 Atm - 0.01mb 电流: 0 - 200A

厚度监测器: MTM-10高精度厚度监测器(选配)

控制方式:自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(0-300s),自动放气

电源:200-240 VAC, 50/60Hz

功率:1000VA (包括镀碳机和真空系统)

氩气: 纯度优于99.9%,压力调节0.5-0.6 bar, 6mm连接软管

备注:为保证销售渠道正规,配套方案先进及统一的市场管理和售后服务,英国cressington在各个国家都只设**授权代理,中国官方授权总代为:溢鑫科创Yi Xin Technology详细信息请参考英国原厂官方网站。

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