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Semiconsoft MProbe膜厚测试仪

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产品介绍

Semiconsoft MProbe 膜厚测试仪

MProbe 让 你 成 为 测 量 专 家 !

大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量:氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si, aSi,polySi)、硬涂层(SiC, DLC), 聚合物涂料 (聚对二甲苯,PMMA,聚酰胺), 薄金属薄膜等。

厚度和其他参数的均匀性测量对于许多应用程序是很重要的。

映射选项包括:

1.XY电动平台(150,200和300毫米游程)

2.固体19 x19"铝合金平台

3.探头架(反射/透射测量均可)与光学系统

4.调节器

5.支持软件(映射配方,等等)。

定位精度

< 2 μm

分辨率

< 0.5 μm

驱动

步进电机

调节器

一体化平台

通讯

串口(RS232)

尺寸

19” x 19” x 10” ( 6” 和 8”阶段)

重量

12 kg

硬件选项

-150XYM

6”x6” (150x150mm) XY电动平台

-200XYM

8 x8”(200x200mm) XY电动平台

-300XYM

12x12”(300x300mm) XY电动平台

-VAC

真空夹盘(样品架通过一个电机泵插入微孔)

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Semiconsoft MProbe膜厚测试仪

广州市固润光电科技有限公司

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