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随着市场上自由曲面光学元件的兴起和对日益复杂测量解决方案需求的不断增长,英国泰勒霍普森公司研发生产出了可满足自由曲面测量要求的多用途、高分辨率接触式测量系统——Form Talysurf® PGI Freeform。
Form Talysurf ®PGI Freeform自由曲面测量系统使得制造商能够精确测量其光学元件并与设计资料进行比较。该系统采用栅式/径向扫描方式进行测量,可以提供球面元件、非球面元件、衍射元件及自由曲面等面的三维光栅及径向分析。
Form Talysurf ®PGI Freeform自由曲面测量系统可以测量环面、双锥面、合成非球面、椭球面、NURBS样条曲面、非球面柱面、点云以及Zernike定义的曲面等等。
Form Talysurf ®PGI Freeform自由曲面测量系统基于几十年的测量经验的积淀,超精密生产经验以及有限元优化设计,提供了低噪声和近乎**的机械运动轴。测针测量范围可达到28mm,分辨率可达0.8nm,测量角度到达50°,面型误差小于150nm。