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似空科学仪器（上海）有限公司
德国
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475
主要特点：
◆ 超高速测量，采用无摩擦的线性驱动系统
◆ 三维几何自动化测量，轮廓图象处理系统，用于常规几何和自由曲面的自动测量
◆ 模快化构造能够快速适用于不同的测量任务
◆ Z轴快速成像自动聚焦系统，高速CNC连续路径控制
◆ 无畸变远心光学系统(0.2x-100x），可选用变焦光学系统
◆ 可选配接触式测头、点激光、线激光各种传感器
技术参数：
| 型号 | Inspector FQ | |
| 测量范围 | (X-轴) | 400-1000mm |
| (Y-轴) | 400-1000mm | |
| (Z-轴) | 200-300mm | |
| **允许测量误差 | (E1单轴精度） | (2.5+L(mm)/120)μm |
| (E2平面精度） | (2.9+L(mm)/100)μm | |
| (E3空间精度） | (4.5+L(mm)/75)μm | |
| 固定镜头 | 0.2X-100X | |
| 分辨率 | 0.2μm | |
| 工作台承重 | 150kg（300kg可选） | |
| 定位速度 | 1m/s | |
| 加速度 | 10m/s2 | |
| 频率 | 48-62Hz | |
| 仪器重量 | 1500-6000kg | |
| 精度保证环境条件 | 20℃±2 o Δ=1o/h | |
| 适用温度 | 10-35℃ | |
可选配**Werth Zoom高放大倍率(0.68-6.8X或1-10X)，大工作距离(80mm标准或20mm-220mm可变)十级自动变焦系统，更高测量精度可选
依据标准 ISO 10360 和 VDI/VDE 2617
