l可快速垂直扫描的旋转共焦技术

l使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150倍) 3D全视野3D镜头，用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉测量>: 72° vs 44°)

l具有光学形貌上超高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机，空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的理想配置

l在测量表面粗糙度/表面反射率上没有限制

l应用于透明层/薄膜

l兼容亮视野&暗视野; 光学DIC

l长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选

l高稳定性

lZ向高分辨率

l兼具相移（PSI）以及垂直扫描（VSI）模式

lZ向分辨率可独立放大

l四色CCD 相机，用户可自选的LED光源 (白光、绿光、蓝光和红光)

l高达五百万像素的可自动分辨的CCD 相机

l快速处理器

l自动对焦

l探针扫描可用于大型模板

lX、Y、Z三向可达原子级分辨率

l大压电探针扫描XY: 达到 110x110um

l粗糙表面分析

l快速分析

l特点：一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪 高精度原子力显微镜