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气体质量流量控制器(流量计)(Mass gas flow controller(meter))缩写为MFC(MFM))是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。
S49 33/MT质量流量控制器(流量计)特点:
*阀体采用不锈钢(316L)结构,与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON®、聚四氟乙烯等。线路板、阀体、弹簧片、精密电阻和resistor等为重要零部件,均执行严格的入厂标准。
*适用于各种腐蚀性气体
*气体流量不因温度、压力的变化而失准 *高精度 *重复性好 *响应速度快、软启动、稳定可靠 *低压降
*工作压力范围宽(可以在高压或真空条件下工作)。
*操作使用方便,可任意位置安装
*便于与计算机连接实现自动控制。