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三维表面轮廓仪

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产品介绍

简介：

• 高度精密

• 快速

• 可靠

• 经济

一个显微镜升级成3D表面测量仪

白光干涉法是一个确定地形和表面光滑粗糙的方法。测量精度可达到近似纳米理论上无限的高度范围。

经典光学显微镜可以扩展成一个完善的扫描干涉显微镜使其实用性显著增加。使用这个高精度3D数据测量原理可以收集整个显微镜的可视范围。显微镜和smartWLI可以完成各种类型的3D分析为基础。

GBS mbH为客户提供一个廉价且有吸引力的软件包解决方案，指定smartWLImicroscope可改造现有的显微镜系统*。

在下列条件下是可改进:

• 显微镜是专为无限中间图像设计的。

• 可反射光场照明

• 显微镜有一个摄像机架。

• 连接管的尺寸能换目镜。

这些需求通常是由显微镜在工业和医疗的应用而实现。

改造包含以下组件(附上调节的参数):

• 一种自动、高精度定位系统

• 一个特殊的干涉物镜

• 一个高速、敏感度高的数码相机

• 一个有分析软件高性能计算机系统

显微镜生成的2D图像

3D图像——扫描干涉显微镜的功能

测量系统
测量原理	白光干涉法
z-定位系统	Piezo 物镜调节系统
高度测量范围垂直分辨率	Up to 400 μm 〈1 nm
光源	LED
相机模块	CCD 782 x 582 pixel
物镜放大倍数横向测量范围 *小分辨率	10x or 20x or 50x 649x483 um² or 324x241 um² or 129x96 um² 1.66 µm or 0.96 µm or 0.70 µm
测量时间	<1 min
软件
smartWLI	软件用于测量地形和使用一个直接接口到MountainsMap分析软件输出的3D数据，自动拼接模块
MountainsMap®	广泛的分析软件以及轮廓和三维可视化、测量数据预处理和后处理DIN EN ISO粗糙度和高度的含量测定，顺序处理，测量记录
文档格式	ASCII， SUR， BCR-STM， BMP， JPEG， TIFF

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