流量规格

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

0~1,2,3,5,10,20,30 SLM

准确度

±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±1% F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

线性

±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±0.5% F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.)

重复精度

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

响应时间

≤4 sec

≤4 sec

工作压差范围

≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)
＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)

-

气压降

-

<0.02 MPa (2.9 psid)

**工作压力

1 MPa

1 MPa

耐压

3 MPa (435.1 psig)

10 MPa (1450.4 psig)

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

输入输出信号

4~20 mA 或 1~5 VDC

4~20 mA 或 1~5 VDC

电源

24 VDC  100 mA

24 VDC  100 mA

重量

1.2 kg

1 Kg