PicoFemto NI-100 SEM纳米力测量将纳米压痕仪集成进扫描电镜中，使用户可以在扫描电镜中进行原位纳米压痕研究。该系统由一个三维压电驱动的样品台和一个纳米力测量探针组成。样品安装方式灵活多样，可在三维纳米位移台的驱动下，达到超过5 mm的准确定位，定位分辨率优于100 nm，以使待测量区域准确对准力探针。

力探针同样由压电驱动，在轴向达到100 um的伸缩长度，位移分辨率优于0.25mm。由力传感器准确测量所施加的力的载荷，可测拉力和压力。并有不同的大量程的力传感器可选配，达到很好的测量效果。通过搭配电学、光学、加热等模块，该产品还可以实现包括原位力/热耦合、力/光耦合、力/电耦合、力/热/晶体取向耦合等多场耦合研究。

PicoFemto NI-100 SEM纳米力测量系统基本技术参数表