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CSU030D 切磨片宏观缺陷检测设备
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中科慧远视觉技术（洛阳）有限公司
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CSU030D 切磨片宏观缺陷检测设备
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CSU030D 切磨片宏观缺陷检测设备
CSU030D设备为中科慧远针对以SiC为代表的化合物半导体晶片加工过程中外观类缺陷进行宏观检测的缺陷检测设备。
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