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紫外光旋转涂膜机

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沈阳科晶自动化设备有限公司

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产品介绍

VTC-100PA-UV型紫外光旋转涂膜机匀胶机、甩胶机、旋涂仪、spin coater适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版及表面涂覆等工艺。该机腔体采用聚丙烯材质,耐腐蚀且使用寿命长,可用于强酸、强碱溶液的涂覆。本机上盖具有紫外灯光照射的功能,尤其适用于对紫外光敏感的胶体,可使涂覆后的胶体迅速固化;此外紫外灯还具有聚合作用,可以把单体聚合成聚合物膜。上盖中心位置为注液孔,注液孔配有胶塞,当腔体需要密闭的环境时应将胶塞堵好。腔体带有进气孔,可在匀胶过程中对腔体通保护气。样件采用真空吸附方式进行固定,操作简单,使样件取放自如。配用专用定心工具可使样件很容易放在吸盘中心位置,以减少偏心带来的震动,避免造成飞片。根据样件的大小可以选择不同规格的吸盘,吸盘更换简单方便。本机使用精密直流无刷电机,启动快、速度稳定,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。

产品型号

VTC-100PA-UV型紫外光旋转涂膜机、匀胶机、甩胶机、旋涂仪、spin coater

主要特点

1、采用真空吸盘固定样件样件固定牢固且取放简单方便真空吸盘大小可根据需要进行定制。

2、该机上盖具有紫外灯光照射的功能紫外光的强度可以在一定范围内进行调整

3、本机上盖中心位置为注液孔,注液孔配有注液孔塞,当腔体需要密闭环境时可使用该孔塞将孔密闭。

4、该机带有保护气接孔,可对腔体通保护气。

2、电机部分、紫外灯光控制部分分别使用独立电源进行控制。电机调速系统采用单板机+液晶显示屏进行控制数值显示更直观可靠,转数500-10000RPM内可调;紫光灯采用抗干扰性强的PLC控制器进行控制。

3、涂膜机在工作时设有两个阶段,在启动前根据实际需要,可分别进行时间1、转速1、时间2、转速2的设置。设置完成启动后,涂膜机先以转速1在时间1时间内运转,使涂膜物质逐渐分散开。当时间1结束,涂膜机自动进入时间2阶段运转,使涂膜物质更加均匀。

3、紫光灯真空旋转涂膜机启动快速、转数稳定,可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。

4、在安装结构上,采取了减震措施,降低运转时的噪音。

5、腔体采用聚丙烯材质,使用寿命更长,提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能;机身采用铸铝结构,结实耐用且质轻。

技术参数

1、电源:AC220/110V 50/60Hz

2、电机功率: 350W/24V

3、速度范围:500-10000rpm

4、可储存1组程序,程序包含2个运行阶段,每段增减速率设置范围:

100 rpm s—2000 rpm /s,每段时间范围:0-600s

5、吸盘规格:φ19mm φ60mm

6、保护气进气孔规格:φ8㎜

7、真空气孔规格:φ8㎜

8、紫光灯功率范围:8-30W

9、紫光灯时间设置范围:1-800S

10、外形尺寸:450×280×340mm

11、重量:20Kg

标准配件

1

真空吸盘

2(φ19 mm和φ60 mm)

2

中心定位器

1件

3

无油真空泵

1台

可选配件

进口移液器

国产移液枪

真空吸盘

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