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KOSAKA微细形状测定机

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质朋仪器贸易(上海)有限公司

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品牌:

质朋仪器

型号:

KOSAKA微细形状测定机

关注度:

381

产品介绍

台阶仪/膜厚仪ET4000系列产品参数


**试片尺寸210×210mm~300×400mm
重现性1σ 0.5nm以内
测定范围Z:100um X:100~305mm (Y移动量:150~400mm)
分解能Z:0.1nm X:0.1um
测定力

0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)


台阶仪可以应用在半导体,光伏/太阳能,光电子,化合物半导体,OLED,生物医药,PCB封装等领域的薄膜厚度,台阶仪测量薄膜厚度,台阶高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),划痕深度,磨损深度,薄膜应力(曲定量率半径法)等定量测量方面。其高精度,高重复性,自动探索样品表面


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