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HMPS-2120S微波等离子体CVD设备

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成都纽曼和瑞微波技术有限公司

四川

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品牌：

和瑞微波

型号：

HMPS-2120S微波等离子体CVD设备

关注度：

433

产品介绍

微波功率容量大、功率密度高；

◆沉积面积大、速率快、质量高；

◆安全可靠，满足单晶、多晶金刚石产业化生产运行；

◆第三代高稳定固态功率源，新型下馈式大容积碟形放电工作腔；

◆微波功率0.5~12kW连续可调，稳定度1%；

◆放电区Φ≥100mm；均匀沉积区Φ≥75mm；

◆工作气体：H2/CH4/N2/CO2或O2或Ar；

◆极限真空度：6×10-4Pa；真空漏率：10-9Pa·m3/s；

◆工作压力：0.1~30kPa；自动控制；

◆红外测温：600~1800℃（双色）；

◆PLC和15寸触摸屏多参数自动控制。

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HMPS-2120S微波等离子体CVD设备

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