粉体行业在线展览
高真空磁控溅射镀膜设备JCP650
面议
北京泰科诺
高真空磁控溅射镀膜设备JCP650
2604
基片台尺寸:抽屉式:150mm×120mm 可旋转、升降
膜厚不均匀性:≤ ±5.0%(120mmx120mm 范围内)
溅射靶:6英寸3只
溅射靶电源:1台RF,2台DC
控制方式:PLC/PC 控制 ( 可选 )
占地面积:L2500mmxW1600mmxH1900mm ( 不含手套箱 )
总功率:≥15kW 三相五线制
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