外延石英轴用于控制半导体生产设备中的托盘或样品架的上下移动。其主要用途包括提供精确的位置调节，以适应不同工艺步骤的需求；支持样品架或托盘在不同工作站之间的快速和准确的转移；确保在工艺过程中对样品的精确处理和定位，从而实现高效的生产流程和优质的产品制造。